1、真空的含義及特點(diǎn)：
　在真空科學(xué)中，真空的含義是指在給定的空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài)。人們通常把這種稀薄的氣體狀態(tài)稱為真空狀態(tài)。這種特定的真空狀態(tài)與人類賴以生存的大氣狀態(tài)相比，具有如下特點(diǎn)：
　　　·真空狀態(tài)下的氣體壓力低于一個(gè)大氣壓；
　　　·真空狀態(tài)下由于氣體稀薄，單位體積內(nèi)的氣體分子數(shù)，即氣體的分子密度小于大氣壓下的氣體分子密度；
　　　·真空狀態(tài)下由于分子密度的減小，因此作為組成大氣組分的氧、氫等氣體含量（也包括水分的含量） 相應(yīng)減少。

2、抽氣速率[單位：m³/s；L/s；m³/h；cft/min（立方英尺/分）]
　　當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在實(shí)驗(yàn)罩上位置測得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。

3、極限壓力（極限真空）（單位：Pa）
　　泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的zui低壓力。即真空泵的入口端經(jīng)過充分抽氣后所能達(dá)到的zui低的穩(wěn)定的壓力